中圖儀器NS系列薄膜厚度測(cè)量臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器,其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。它是一種常用的膜厚測(cè)量?jī)x器,它是利用光學(xué)干涉原理,通過(guò)測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來(lái)計(jì)算出膜層的厚度,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
中圖儀器NS系列沉積薄膜臺(tái)階高度測(cè)量?jī)x是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器,其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測(cè)量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。
中圖儀器NS系列高精度臺(tái)階高度測(cè)量?jī)x是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器,其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。它能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度,可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
NS系列高精度薄膜厚度測(cè)量?jī)x線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
中圖儀器NS系列探針式臺(tái)階儀/輪廓/形貌/粗糙度/表面2D測(cè)試是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器,可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒(méi)有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。
NS系列國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀測(cè)量穩(wěn)定高效,儀器采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。
中圖儀器NS系列亞埃級(jí)垂直分辨力臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器,可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測(cè)量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。
臺(tái)階儀高精度薄膜厚度與臺(tái)階高度測(cè)量軟件包含多個(gè)模塊。500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī),即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使得測(cè)量更加直觀。
微信掃一掃