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加工中心激光干涉儀常用于數(shù)控機床精度檢測和補償。可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

SJ6000國內(nèi)激光干涉儀可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，還可以實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

?便攜式激光干涉儀器可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補償表，有效地降低運動軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉測量儀與不同光學附件結(jié)合，可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機床誤差來源；而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數(shù)據(jù)，更接近機床的實際使用狀態(tài)。

中圖儀器SJ6000機床激光干涉儀精度高，抗干擾能力強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機床精度檢測，同時可進行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。

中圖儀器的平面光學激光干涉儀產(chǎn)品在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

中圖儀器金屬平面激光干涉儀品牌可用于精密機床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據(jù)。

?SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。