SJ6000激光干涉儀測量設(shè)備測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好，配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；應(yīng)用范圍廣，可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結(jié)合軟件系統(tǒng)，也可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析，實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析；軟件界面友好，向?qū)讲僮鳎鞒糖逦蠂鴥?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

SJ6000激光干涉儀測量設(shè)備以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

系統(tǒng)組件

1、激光主機(jī)

精準(zhǔn)——激光頻率穩(wěn)定度高，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。

SJ6800激光主機(jī)由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計(jì)算機(jī)高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號(hào)輸入和正交信號(hào)輸出，以及其它擴(kuò)展應(yīng)用。

2、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元

可靠——對(duì)空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進(jìn)行自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環(huán)境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會(huì)影響激光波長。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可實(shí)時(shí)檢測環(huán)境條件的變化，同事進(jìn)行激光波長補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可連接三個(gè)材料溫度探頭，監(jiān)測被測對(duì)象其材料的溫度變化，同事進(jìn)行材料的熱膨脹補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元采用低功耗設(shè)計(jì)，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現(xiàn)場使用，EC20環(huán)境補(bǔ)償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標(biāo)準(zhǔn)線長5m，亦可定制線長。

3、三腳架及便攜箱

其他組件

1、光學(xué)鏡組

（1）線性鏡組

應(yīng)用于機(jī)器軸的定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等；也可用于機(jī)器軸的動(dòng)態(tài)測量分析。

（2）角度鏡組

應(yīng)用于機(jī)器軸的角擺測量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測量；亦可以用于轉(zhuǎn)軸的角速度和角加速度的動(dòng)態(tài)測量分析。

（3）直線度鏡組

應(yīng)用于導(dǎo)軌或機(jī)器軸的直線度測量，包含水平方向和垂直方向的直線度。

（4）平面度鏡組

按照國標(biāo)方式進(jìn)行平面度的測量和分析，其平面度羈絆長度可調(diào)。

（5）線性附件-輕型線性鏡組

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡重量僅為8g，可以直接在被測物體上，有效降低線性反射鏡過重帶來的影響。主要應(yīng)用于先行反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機(jī)械性能或精度；線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合；負(fù)載敏感的動(dòng)態(tài)測量。

（6）大角錐反射鏡

應(yīng)用于機(jī)器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量，起反射光束的作用。

（7）垂直度鏡組

應(yīng)用于兩條相互垂直的機(jī)器軸的垂直度測量場合。

SJ6000測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。